Filtratie

Entegris biedt filtratieoplossingen die zijn gebaseerd op diverse mediatechnologieën en prestatiecriteria, maar ook analytische services voor het vaststellen van verontreinigingen in technologieomgevingen en methodes voor het analyseren/valideren van materialen.

Gasfiltratie

Nikkel, roestvrij staal en de filtertechnologie van Teflon®. Ultrapure gasfiltratieproducten van Entegris zijn in staat deeltjes met een grootte van 0,003 micrometer uit te filteren en zijn daardoor optimaal geschikt voor toepassingen met ultrapuur gas. Gasfilters van Wafergard® zorgen voor een hogere doorvoer van procesgas en een lager gasverbruik. Ultrapure gasfiltratieproducten van Entegris worden gebruikt door alle toonaangevende OEM's (Original Equipment Manufacturers) die halfgeleiders produceren, maar ook door makers van ets-, CVD-, PVD- en ionimplantatieapparatuur en andere hoogwaardige toepassingen zoals fotovoltaïsche cellen, platte beeldschermen, gegevensopslag en HBLED-dioden (High Brightness Light Emitting), medische apparatuur en lithium-ionbatterijen. Entegris bouwt zijn gasfilters in onze gaszuiveringssystemen in, waardoor er procesgassen en reinigingsgassen worden geleverd die vrij zijn van zowel verontreinigingen door moleculen als door deeltjes.

Vloeistoffiltratie

Verontreinigingspreventie in procesvloeistoffen. Verontreinigingspreventie zorgt voor continue technologische vooruitgang en rendementsverbeteringen bij de productie van halfgeleiders, platte schermen, gegevensopslag, fotovoltaïsche cellen, medische apparatuur en lithium-ionbatterijen. CMP-slib, zuren, bases, fotochemische stoffen en DI-water vereisen allemaal geavanceerde filtratie om deeltjes en opeengehoopte substanties die defecten veroorzaken te verwijderen voordat ze de wafer of het substraatoppervlak bereiken. Entegris biedt een volledige lijn van filters die onze klanten helpt bij het oplossen van de uitdagingen die ze op het gebied van verontreinigingspreventie kunnen tegenkomen.