Zuivering

Gaszuivering
Anorganische regenereerbare media om gassen bij omgevingstemperaturen te zuiveren tot op part-per-trillionniveau. De innovatieve producten en technologieën van Entegris voor preventie van micro-contaminatie van gassen helpen ervoor te zorgen dat onze klanten beschikken over de nieuwste technologieën en klaar zijn voor de uitdagingen van toekomstige geavanceerde apparaten, fotovoltaïsche cellen, biowetenschappen en lithium-ionbatterijen.

Vloeistofzuivering
Verwijdering van metaalioncontaminanten. De technologieën van Entegris voor vloeistofzuivering bieden de ultieme bescherming tegen metaalioncontaminatie door metaalionen met hoge capaciteit in één enkele passage te verwijderen uit ultrapuur water en sommige organische oplosmiddelen. Ideaal voor kritische reinigingstoepassingen waaronder demi-waterspoeling van proceshulpmiddelen voor recirculatie en enkelvoudige passage, waferdroging en post-CMP-reinigingen.